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                                                        模塊一: 潔凈室基礎知識  



                                                       潔凈室的定義
                                                       潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

                                                潔凈室介紹

                                                  潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
                                                  每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的A級。芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
                                                  潔凈室的使用
                                                  空態:已經建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備所有有關的服務和功能。但是,在設施內沒有操作人員操作的設備。
                                                  靜態:各種功能完備、設定安裝妥當,可以按照設定使用或正在使用的潔凈室(設施),但是設施內沒有操作人員。
                                                  動態:處于正常使用的潔凈室,服務功能完善,有設備和人員;如果需要,可從事正常的工作。


                                                模塊二:潔凈室設計


                                                (一)潔凈室設計前的準備工作及應收集的有關數據和資料

                                                  A.收集有關潔凈室建設的政策,標準,規范

                                                  1、潔凈度等級的國家標準和國際標準ISO14644

                                                  2、“潔凈廠房設計規范”GB50073-2001

                                                  3、“電子工業潔凈廠房設計規范”(修訂中)

                                                  4、“制藥工業潔凈廠房設計規范”(修訂中)

                                                  5、“醫院潔凈手術部建筑技術規范”GB50333-2002

                                                  6、“實驗動物環境及設施”GB14925-2001

                                                  7、“生物安全實驗室建筑技術規范”GB50346-2004

                                                  8、“潔凈室施工驗收規范”JGJ71-90

                                                  9、“電子工業潔凈廠房施工及驗收規范”(制訂中)

                                                  10、“采暖通風與空氣調節設計規范”GB50019-2003

                                                  11、“通風與空調工程施工質量驗收規范”GB50243-2002

                                                  12、“建筑設計防火規范”(修訂中)

                                                  13、“高層民用建筑設計防火規范”GB50045-2001等。

                                                  B.該項目的“可行性研究報告”以及上級主管部門對報告的批復意見;該項目的“設計任務書”和建設方對該項目建造的有關要求、意見和建議。

                                                  C.該項目建廠地區的氣象資料、水文地質資料和周圍大氣污染的環境狀況。

                                                  D.潔凈室內生產工藝對凈化空調的要求和必須收集的生產工藝的技術條件和有關數據、資料:

                                                  1、潔凈廠房內的生產工藝設備平面布置圖和設備清單,以及工藝對吊頂高度的要求。

                                                  2、工藝對潔凈室內的潔凈度、溫度及精度、相對濕度及精度、正壓、振動、噪聲、照度、靜電、屏蔽等要求,越具體越好。

                                                  3、潔凈室內生產工藝設備的產熱量、產濕量、產塵量。各設備的安裝功率、效率、熱轉化系數和同時使用系數等。

                                                  4、潔凈室內生產工藝設備的局部排風量、排放氣體的性質、成份、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法。

                                                  5、潔凈室內生產運行的班次、運行規律。

                                                  E.潔凈廠房的建筑和結構的情況和有關的數據

                                                  1、潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖、剖面圖。各房間的分割、面積、名稱、層高。

                                                  2、潔凈室圍護結構(墻、地、頂、門、窗等)的建筑材料以及其熱工性能。

                                                  3、建筑結構狀況、結構的承載能力,尤其是舊建筑的改造項目結構的安全十分重要。

                                                  F.全廠冷源、熱源、電源的情況及供應

                                                  1、冷熱源的性質、參數和供應量。有無加濕用的蒸汽等。

                                                  2、電源的性質、參數和供應量。

                                                  G.地方消防、環保部門對該項目建設的要求和意見。

                                                  H.其他相關專業(給水排水、氣體動力、建筑結構、強電弱電等)的要求和意見。

                                                  I.設計時所用的設備、材料、配件的性能、參數和價格的資料。

                                                 ?。ǘ﹥艋照{系統的負荷計算

                                                 ?。ㄈ崈羰覂艋照{系統的劃分

                                                  根據建筑專業提供的建筑平面圖,工藝專業提供的工藝設備平面圖和工藝對各潔凈室的潔凈度,溫、濕度等環境的要求,即可進行凈化空調系統的劃分工作。

                                                  A.凈化空調系統的劃分原則

                                                  1、潔凈度,溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調系統。便于潔凈度和溫、濕度的控制。

                                                  2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統,可減少系統管道的長度和管道交叉。

                                                  3、有條件時可將4級、5級單向流和6級、7級、8級非單向流組成混合流凈化空調系統。

                                                  4、潔凈室不宜與一般空調房間合為一個系統。

                                                  5、使用規律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調系統。

                                                  6、產塵量大、發熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨設計為一個系統。

                                                  7、混合后會產生劇毒、引起火災和爆炸的房間不應合為一個凈化空調系統。

                                                  8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應單獨設系統,而且應為不回風的直流系統。

                                                  9、一個凈化空調系統不易過大。一般情況下,凈化送風量不宜超過100,000m3/h,否則空氣處理設備過大、噪聲大、送回風管道大、占空間和面積大,使用也不靈活。

                                                  10、凈化空調系統劃分時還應考慮到送風管、回風管、排風管以及水,電,氣等管線的布置,盡量作到合理、短捷、使用管理方便,盡量減少交叉和重疊。

                                                  11、凈化空調系統新風的熱濕和凈化處理可集中也可分散設置。

                                                  B.工藝設備局部排風系統的劃分原則

                                                  1、工藝設備的局部排風系統不宜過大,每個排風系統的排風點數不宜過多,這樣排風管理調節方便,排風效果好。

                                                  2、一個排風系統不宜跨在兩個或兩個以上的凈化空調系統。

                                                  3、混合后產生劇毒、爆炸、火災、凝水、結晶和有害物的排風不應合為一個排風系統。

                                                  4、使用規律不同房間和設備的排風不應合為一個排風系統。

                                                 ?。ㄋ模崈羰覂艋照{系統送風型式的比較選擇

                                                 ?。ㄎ澹崈羰覂艋照{系統的冷、熱源

                                                 ?。崈羰覂艋照{系統的節能

                                                模塊三:潔凈室裝修,潔凈室工程裝修


                                                  控管項目
                                                  1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。
                                                  2、能防止微塵粒子之產生。
                                                  3、溫度和濕度之控制。
                                                  4、壓力之調節。
                                                  5、有害氣體之排除。
                                                  6、結構物與隔間之氣密性。
                                                  7、靜電之防制。
                                                  8、電磁干擾預防。
                                                  9、安全因素之考慮。
                                                  10、節能之考量。

                                                  潔凈實驗室裝修設計的平面布局
                                                 
                                                潔凈實驗室裝修設計的平面布局
                                                  潔凈室一般包括潔凈區、準潔凈區和輔助區三
                                                  外廊環繞式:外廊可以有窗和無窗,兼作參觀和放置一些設備用,有的在外廊內設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。
                                                  內廊式:潔凈室設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的潔凈度級別一般都較高,甚至和潔凈室同級。
                                                  兩端式:潔凈區設在一邊,另一邊設準潔凈和輔助用房。
                                                  核心式:為了節約用地、縮短管線,可以潔凈區為核心,上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來,這種方式避開室外氣候對潔凈區的影響,減少了冷熱能耗,利于節能。
                                                 
                                                  潔凈實驗室裝修常用選材要求
                                                  1、門窗:實驗室統一采用潔凈密封彩鋼鋼板門,門套為沙光鋁合金制作,門板為鋼化玻璃窗,下部分為彩鋼板填充。
                                                  2、實驗室凈化區地面鋪貼專用PVC地板膠,防火等級為B1級,防酸、防堿、防腐蝕耐磨達到標準實驗室要求等級;
                                                  3、實驗室墻體為采用防塵,光滑,耐燃,鋼板夾心的彩鋼板墻體固定采用50X30槽型鋁做地槽,地槽固定采用鋼釘加木塊固定;
                                                  4、實驗室天花采用防塵,光滑,耐燃的彩鋼板,兩邊用槽型鋁封邊,彩鋼板與彩鋼板之間用中性瓷白玻璃膠密封,防止有縫滋生細菌;
                                                  5、地面與墻面,墻面與墻面,墻面與天花板交接均采用半徑50mm的鋁合金圓弧處理;
                                                  6、柱面、陰陽角處理:鋼板夾芯彩鋼板隔斷之間陽角處裝鋁合金外圓弧,隔斷與隔斷之間,隔斷與天花之間,隔斷與地面之間的陰角封R50鋁合金內圓弧。圓角線三維匯交處安裝鋁合金頂球片,門口斷開處應收口,陽角柱與天花之交角。


                                                 

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